本设备是大型磁控溅射镀膜设备,卧式双开门结构,用于在Φ40*2*2000mm的不锈钢管外表面镀制均匀的金属和介质复合薄膜。膜层可达到吸收:≥94% 发射≤9%的要求,膜层的耐高温程度达350℃。 1、极限真空:<5×10-4Pa 2、空恢时间:大气抽到8.0×10-3Pa≤25min 3、压升率:≤0.3Pa/h 4、最高温度:300℃ 5、总功率: 6、占地面积:11×5m2 7、用户现场公共条件:厂房净高4米以上,具有移动起吊能力,(换靶时用,起吊量大于1000KG),具有压缩空气0.7MPa;电源AC380V、50Hz。
Product overview
产品介绍
本设备是大型磁控溅射镀膜设备,卧式双开门结构,用于在Φ40*2*2000mm的不锈钢管外表面镀制均匀的金属和介质复合薄膜。膜层可达到吸收:≥94% 发射≤9%的要求,膜层的耐高温程度达350℃。
Product parameters
产品参数
Application industry
应用场景