返回列表 下一个上一个MCP预处理台

MCP预处理台的主要功能是用于像增强器所需微通道板（MCP）的除气处理，包括高温烘烤去气以及电子冲刷去气，同时此设备可以兼顾高量子效率20”球形大面积光电倍增管制作等。具体来讲，设备可实现如下功能： 1)高真空环境获得，系统的工作真空度可以达到10-6Pa数量级 2)对MCP进行高温烘烤以及电子冲刷去气 3)制作大面积高量子效率双碱或多碱光电阴极，并实现光电阴极性能测试 4)完成阴极制作材料以及MCP组件的真空传递以及交接 5)实现热铟封工艺 设备重要参数 1、极限真空度：5×10-7Pa 2、工作真空度：5×10-6Pa 3、真空总漏率：2.6×10-8Pa•L/S 4、真空材料放气率：能证明真空系统内材料满足超高真空系